【微光谱】微型光纤光谱仪测晶圆膜厚应用分享

光纤光谱仪因其快速、无损、原位测量的特点，在半导体行业广受青睐。海洋光学作为微型光纤光谱仪的发明者，在此领域也积累了一定的经验。从等离子体刻蚀到晶圆膜厚测量，光纤光谱仪都有一定的应用。下面，为您带来光纤光谱仪测量晶圆膜厚的应用解决方案。

【微光谱应用】基于光谱技术（DOAS/TDLAS）的气体监测方案

随着新国标GB/T37186-2018 二氧化硫和氮氧化物的测定紫外差分吸收光谱分析法的颁布，进一步推进DOAS技术在气体监测领域的应用；和传统的红外方法相比，为什么DOAS更加能满足在线监测的要求？

【微光谱应用】基于可见近红外光谱的水果在线分选检测应用

随着生活质量提高和消费水平的改变，消费者对于水果品质不同的需求也就促成了水果的销售分级处理；利用非接触式水果分选检测技术，不断细分果品，以便满足不同消费市场的需求。

使用光纤光谱仪进行等离子体监测

半导体工业中，我们通过光刻技术制造和控制晶圆。其中蚀刻是该过程的主要环节，当在晶圆表面蚀刻时，可使用等离子体监测跟踪蚀刻穿过晶圆层，并确定等离子体何时完全蚀刻特定层并到达下一层。通过监测在蚀刻期间由等离子体产生的发射线，可精确追踪蚀刻过程

瞬态光电流光电压测试系统交货完成！

阻尼隔振光学平台顺利交货完成！

赛航光电参加全国光功能材料青年学者研讨会精彩瞬间

9月27-30日，第四届全国光功能材料青年学者研讨会在古都西安的斯瑞特国际酒店盛大举行。