桌面主动隔振系统--ME系列

这是一个具有6自由度主动控制的桌面隔振系统
通过不断监控安装板的振动并使用内置执行器施加反相力来控制振动。
3个维度的控制（6个自由度）

应用领域：显微镜系统     测量和称重设备     纳米表面分析

概述/特点
 ▋ 6自由度主动控制
通过不断监控安装板的振动并使用内置执行器施加反相力来控制振动。
3个维度的控制（6 个自由度）。
 ▋ 自动主动调节&自动调平
主动控制所必需的增益调整由名立精机独创的控制系统自动优化。
 ▋ 隔振性能不受负载影响
通过审查该设备的结构，现在可以将其用于小型 SPM 等轻负载，而不会影响隔振性能。

 ▋ 外形尺寸及隔振性能