气动控制主动隔振系统--地图系列

6自由度主动控制可提供出色的隔振、阻尼和定位性能，以抵抗所有自由度的振动。

明立精机的MAPS 系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1 组4个的话，对应全自由度的振

动，能发挥出优秀的除振性能、制振性能、定位性能等。

产品应用：干涉仪、全息光学、原子力显微镜、半导体制造、精密加工

概述/特点
▓ 结构紧凑但兼容所有自由度的振动
名立精机的 MAPS 系列主动隔振系统是一种单元类型，以紧凑的形式结合了垂直和水平气动执行器。通过使用 4 个单元，它可以提供出色的隔振、阻尼和

定位性能，以抵抗所有自由度的振动。
▓ 还可以减少被动隔振难以实现的频带内的振动。
自然振动引起的共振通常是被动隔振的问题，但自然振动引起的共振可以通过激活来消除。
此外，在该频带内也可以获得优异的隔振性能。例如，对于被动隔振较弱的2Hz左右的低频振动，可将其降低至被动隔振的1/30～1/100。
▓ 标准 MAPS 可以隔离重量超过 10 吨的设备的振动。
最近的精密仪器随着功能的增加而变得越来越大。总重量超过10吨的装置已经开发出来。随着设备变得越来越大，保持设备本身的高固有频率变得困难，使

其更容易受到低频振动的影响，而这在过去很少成为问题。这也是为什么需要一种对低频振动具有优异隔振性能的主动隔振系统的原因之一。
▓ 即使配备舞台等移动设备也不会晃动
如果将 XY 工作台等可移动的装置安装在通过软弹性体支撑来隔离振动的被动隔振器上，则整个装置可能会剧烈晃动，甚至可能会增加振动。
主动隔振利用反馈控制始终保持静止状态，从而可以减少振动。此外，如果可以预先将载物台的移动作为信号输出，则可以进行前馈控制以最小化所产生的

振动，从而可以提供几乎没有振动的环境。
▓ MAPS具有出色的定位精度和水平精度
随着设备变得越来越大，倾斜就成为一个问题。由于设备本身很重，如果倾斜，就会因自重而下垂，严重影响精度。 MAPS 进行考虑水平精度的控制，因此

可以抑制倾斜并保持精度。我们还考虑了定位精度，以便顺利传输磁盘、板等。
▓ MAPS 是一种小型且易于使用的单元类型
只需确保安装MAPS的空间，即可获得不受振动影响的环境。MAPS系列的控制系统极其稳定，可以放心地使用内部设备以及用于销售的产品。
▓ MAPS是构成精密设备的重要部件之一
到目前为止，似乎许多人只是出于对振动的担忧而使用防振器，但随着振动的精度、功能和尺寸的增加，防振器已经配备了防振器，以防止振动的影响。去

除后，开始出现无法达到规格要求的性能的现象。隔振器不仅仅是精密设备的辅助设备，而是构成系统并保证其性能的重要部件之一。

基本零部件及数量

♦ 4 个 MAPS 执行器         ♦ 控制器/放大器 1 台         ♦ 气压调节器 1台         ♦ 电缆 1套         ♦ 管道1套

MAPS 的典型振动传递率

主要规格