高性能气浮隔振光学平台

高性能气浮隔振光学平台支撑腿为三线摆气浮隔振支撑腿。支撑腿为独立式圆腿支撑，无整体共振，内部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平，

并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位，普通的层流阻尼采用的是在主气室与二级气室之间增加一个气孔的方式用来压缩以及释放气体，从

而实现控制稳定性。而微米级层流阻尼则是将一个气室改为许多个微米级的小孔，这将大大增加阻尼效率，并且降低工作振幅。

技术参数：