MStarter ABS 深紫外-近红外显微吸收光谱测试系统
MStarter ABS 深紫外-近红外显微吸收光谱测试系统
无色散光学设计，微区光谱测试，电动偏振控制，自动计算透射光谱，支持高压、低温测试环境MStarter ABS 深紫外-近红外显微吸收光谱测试系统适用于220-1700nm 范围内薄膜样品的吸收光谱测试，测试范围仅5 微米。显微镜采用氘灯-卤素灯透射光源，并且全光路无色散，极大程度的优化了紫外和红外波段的透射率，并且使得所有波段的测试区域没有变化。氘灯模块采用了自由光路设计，增强了光源强度，单条光谱测试时间仅5 毫秒，因此可以快速进行光谱平均，使得测量数据更为准确。
主要参数:
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放大倍数 |
5倍，10倍，20倍，40倍物镜，其中40倍物镜为无色差物镜 |
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光源 |
卤素灯，氘灯，光源范围200-2500nm，卤素灯光源亮度可调气灯光源功率25W，寿命2000小时;卤素灯功率20W，寿命2000小时 |
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载物台 |
电动控制，XY方向行程60mm，最小位移步长500nm，速度范围0.05-2mm/s |
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光学光路 |
透射式光路，光源和收集光路均为无色散设计，100微米紫外老化微区光纤，光谱测量范围5微米(40倍无色差物镜)，2微米(100倍物镜)，光源前方安装有电动快门，气灯和卤素灯可以分别控制开关 |
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紫外-近红外光谱仪 |
背照式光纤光谱仪使用波长250-950nm，2048像素，光谱分辨率3nm，峰值量子效率78% |
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近红外光谱仪 |
InGaAs阵列光谱仪，256像素，测量范围950-1600nm，分辨率6nm |
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选配功能 |
100倍半复消色差物镜，电动起偏器(工作波段200-900nm或350-1700nm可选)，电动检偏器(250-1700nm) |
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内部结构 有色差并且具有很高的紫外波段反射率 。样品位移由电动平移台完成 ， 保证了样品和衬底光谱测量过程中的稳定移动。 |
光路设计 可以保证两个谱仪测量位置完全重合。 |
吸收光谱测试
利用指示光纤，可以直接观察光谱收集的位置，从而测量指定区域的光谱 。MStarter ABS使用100 微米光纤收集样品透射光在100倍物镜下测量区域仅 2微米，从而可以方便的测量微小样品指定区域的吸收光谱。
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50X物镜下的指示光纤图 单条光谱测试时间仅5ms，可以进行多次光谱平均准确 测量样品的吸收光谱。对于具有近红外吸收的样品 ,MS tarter ABS 将结合紫外-可见光谱仪和近红外光谱仪对 固定位置进行测试，两条谱线完美对接。 |
测试示例:(a)蓝宝石基底MoS2，测试范围200-1100nm, (b)蓝宝石基底Bi2O2Se 测试范围350-1700nm |
光谱测试功能
405nm荧光光谱测试光路和532nm拉曼光谱测量光路对两个波长的激光进行了专门的优化，使用100倍物镜时具有衍射极限的光斑，因此在光谱扫描中可以提供极高的空间分辨率。ScanPro Advance采用自由空间光路设计，样品的拉曼/荧光信号通过反射镜直接聚焦于光谱仪狭缝，具有很高的收集效率光谱仪使用了制冷型探测器具有极低的热噪声，可以进行长时间积分，两者相结合保证了微弱光谱测试的准确性。利用高精度压电位移台，ScanPro Advance可以在最大100微米的范围内进行定位精度高达20nm的扫描，由于光斑尺寸在500nm左右(532nm激光)光谱扫描空间分辨率也为500nm。Scanpro Advance光谱测试软件具有光谱Mapping数据快速处理，自动平滑，自动计算积分，平均值，峰值位置，峰宽度等信息。
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荧光光谱及扫描测试示例(a)Si02/i基底MoS2在100X物镜下明场 图，蓝框为大区域，红框为小区域(b)PL光谱，(c)扫描区域30*30 um，(d)扫描区域10*10um |
30*30um，(d)扫描区域13*10um ，插图为拉曼扫描截线图， 显示扫描分辨率为400nm拉曼光谱及扫描测试示例(a)Si02/Si 基底MoS2在100X物镜下明场图，蓝框为大区域，红框为小区 域(b)Raman光谱，(c)扫描区域 |
