Bruker布鲁克台阶仪
Bruker布鲁克台阶仪
DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现 4Å （0.4nm） 的优异重复性，扫描速度可提高 40%。DektakXT 结合了行业领先的技术和设计，可提供高性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。
规格参数
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测量技术 |
探针式表面轮廓测量技术（接触模式） |
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测量功能 |
二维表面轮廓测量；可选择三维测量以及数据分析 |
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样品试景 |
可选择放大倍率，1 to 4mm FOv |
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探针传感器 |
低惯性量传感器 （LIS 3） |
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探针压力 |
使用LIS 3 传感器： 1~15mg |
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低作用力（选配） |
使用N-Lite+ 低作用力传感器： 0.03~15mg |
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探针选项 |
探针曲率半径可选范围 50nm~25um；高径比针尖（HAR）10um×2um 和200um×20um ；可客户要求定制针尖 |
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样品 X/Y 载物台 |
手动 X/Y平移（4英寸）：100mm；电动 X/Y平移（6英寸）：150mm；电动 X/Y平移（8英寸）：200mm |
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样品旋转台 |
手动，360度旋转；机动，360度旋转 |
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计算机系统 |
64 bit多核并行处理器，Windows 7.0 系统；Optional 23英寸平板显示器 |
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软件 |
Version 64 操作分析软件，应力测量软件，悬臂偏转；缝合软件；三维扫描成像软件 |
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隔振系统 |
多种隔振方案可供选择 |
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扫描长度范围 |
55mm （2英寸） |
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每次扫描数据点 |
最多可达120，000数据点 |
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最大样品厚度 |
50mm (2英寸) |
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最大品园尺寸 |
200mm (8英寸) |
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台阶高度重现性 |
< 4Å 1 0在1μm 台阶上 |
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垂直范围 |
1mm (0.039英寸.) |
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垂直分辨率 |
最大1Å (在6.55um垂直范围下） |
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输入电压 |
100 – 240 VAC, 50 – 60Hz |
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温度范围 |
运行范围20~ 25°C (68~77°F) |
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湿度范围 |
≤ 80%，无冷凝 |
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系统尺寸和重量 |
455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H);34kg (75磅.); |
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附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in.W x 17.5in. H);21.7kg (48磅.) |
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多重应用
薄膜测试、表面粗糙度检测、太阳能栅线分析、微流体技术等
四个要素
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实现测量的可重现性 的表现，台阶高度重现性可低于4A。使用Single-arch结构比原 先的悬臂梁设计更加稳固，价低了对不利环境条件的敏感性，如 声音和震动噪音。 |
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提高数据采集和分析速度 利用独特的直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描的时间，而 没有影响分辨率和背景噪音（ niose floor ）。这一改进大大提高 了大范围扫描 3D形貌或者对于表面应力长程扫描(就探针轮廓而言 ，通常是耗时的)的扫描速度。 |
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让一切变得轻松 的。DektakXT新的针尖自动校准，消除认可潜藏的针尖更换/校 准隐患。 |
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完善的操作和分析系统 与Dektak XT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64 操作分析软件。Vision64提供了业界最为使用精简的图示用户界 面 ，结合智能结构，具备可视化工作流程及各种自助设定功能 ， 以满足用户快速全面进行数据收集和分析。 |
