三维光学轮廓仪
ContourX-100三维光学轮廓仪
直观经济的台式粗糙度计量设备
ContourX-100光学轮廓仪，该小尺寸系统采用流线型设计，结合了数十年专有的布鲁克白光干涉仪（WLI）创新，可提供毫不逊色的2D/3D高分必阿里测量功能。满足计量要求的台式系统具有业界最先进的友好用户界面，可直观访问多种预编程滤镜和分析工具 ，用于精密加工的表面，薄膜和摩擦学应用分析。
新一代增强功能包括新的五百万像素摄像头，新的载物台和新的测量模式，提供了更大的灵活性。ContourX-100光学轮廓仪是一台极有价值的计量设备。
技术参数：
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最大扫描量程 |
≤10mm |
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水平分辨率 |
0.38μm minimum(Sparrow criterion)；0.13μm(With Acuity XR) |
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垂直分辨率 |
＜0.01nm |
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台阶高度重复性 |
＜0.75%；＜0.1% 1 sigma repeatability |
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最大扫描速度 |
37μm/sec(with standard camera) |
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样品反射率范围 |
0.05% to 100% |
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最大样品倾角 |
≤40°(shiny surfaces)；≤87°(rough surfaces) |
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样品高度 |
≤100mm(4in) |
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XY样品台 |
150mm(6in)manual stage |
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Z轴聚焦 |
100mm(4in) |
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倾斜功能 |
±6° available on stage |
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光学计量模块 |
Patented dual-color LEDillumination; Single-objective adapter |
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Optiona-lautomated or manualturret; Optional motorized or manualdiscrete modules |
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物镜 |
Parfocal：2.5X，5X，10X，20X，50X，115X； |
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LWD：1X，1.5X，2X，5X，10X； |
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TTM：2X，5X，10X，20X； |
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Bright Field：2.5X，w5X，10X，50X |
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放大器 |
0.55,0.75X,1X，1.5X，2X |
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摄像头 |
Monochrome(standard) or coloroptional)；5MP with1200x1000data array |
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软件系统 |
Vision64 and VisionXpress Analysis Software on Windows 10 OS；64-bit |
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可选软件包 |
USI；Advanced PSL；Production Mode；VisionMAP；AcuityXR；Optical Analysis；SureVision；Film；MATLAB; SDK，TCP/IP |
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自动测量功能 |
Auto-focus；Auto-intensity；Auto-saving；Auto-stitching；On-fly analysis；Scattered and grid automation；Recording in database |
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校准 |
Via NIST/PTB traceable step height and lateral ruler standards |
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设备尺寸 |
451mm（W）x533mm（D）x754mm（H） |
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重量 |
60KG |
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保修期 |
12 months |
应用案例：
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精密工程 |
MEMS和传感器 |
骨科/眼科 |
