纳米定位平台

NNS-X100-01 X轴纳米定位平台

NNS-X100-01是一款X轴方向的运动台，闭环行程100μm，可提供0.5nm的闭环分辨率。采用表面阳极氧化黑工艺。

典型应用
• 显微成像            • 光学移相
• 激光领域            • 半导体加工
• 光学对准            • 光栅刻写
• 生物材料分析     • 光学

NNS-XY700Z200-01 超大行程XYZ三维纳米定位平台

NS-XY700Z200-01是一款高精度超大行程三维纳米定位平台，闭环行程可达700/700/200μm，闭环分辨率 5/5/3nm。

典型应用

• 显微成像         • 激光加工

• 表面检测         • 光学测量
• 半导体加工

NS-RB0.8-01 微型二维高速偏摆镜

NS-RB0.8-01是一款紧凑型二维高速偏摆镜。采用应变片传感器，具有紧凑的结构，尺寸Φ22×18，可以更好的集成于光学系统。

典型应用：

• 激光雷达         • 光学稳像

• 激光稳像通信
• 超分辨率光学成像

NS-XY25Z20-01 超紧凑型XYZ三维纳米定位平台

NS-XY25Z20-01是一款高精度超紧凑三维纳米定位平台。体积小巧69x69x37.5mm，行程25/25/20μm，分辨率 0.1/0.1/0.1nm。

典型应用

• AFM/SPM/SFM
• 半导体加工         • 光学探针

• 表面检测            • 高密度存储

NNS-Z50-01 Z轴纳米定位平台

NNS-Z50-01是一款Z轴方向的运动台，闭环行程50μm，可提供0.5nm的闭环分辨率。具有大负载，高谐振频率，高带宽的特性。采用表面阳极氧化黑工艺，满足光学类应用。可用于侧挂式应用。

典型应用
• 显微成像         • 光学计量

• 激光加工         • 高精度自动对焦

• 物镜转塔调整及扫描

NS-XY100-02 真空吸盘XY二维纳米定位平台

NS-XY100-02是一款集成真空吸盘的高精度二维纳米定位平台。闭环行程可达100x100μm，闭环分辨率 0.5/0.5nm。可应用于半导体加工和检测。

典型应用

• 表面检测      • 显微成像       • 激光技术
• 半导体加工与测试
• 高密度光存储与磁存储

SC100-A 模拟控制器

SC100-A模拟控制器具有体积小，精度高，控制方便等优点。支持电容反馈PID闭环控制。通过搭配不同的纳米平台可实现直线位移、偏摆等系列控制。

NS-XY200-02 大负载XY二维纳米定位平台

NS-XY200-02是一款高精度大负载二维纳米定位平台，负载可达5kg。闭环行程可达200x200μm，闭环分辨率 0.8/0.8nm。

典型应用
• 激光加工         • 光学对准
• 表面分析         • 光学测量

• 显微成像

SC400 压电数字控制器

• 快速响应         

• 系统动态特性可自测

• 18位AD/DA   

• 全数字伺服运算
• PID和谐振滤波可软件设置
• 内置波形发生器
• 所有通道自带模拟输入输出接口
• 支持电容传感器和应变片传感器
• 48.8KHz控制频率，200mA最大输出电流

NNS-XYZ100RZ2RXY1-01 六维纳米定位平台

NS-XYZ100RZ2RXY1-01是一款高精度六维纳米运动台。集成平移、升降和旋转在一起多达六维运动，结构紧凑。电容传感器全闭环控制，精度高。大通孔设计，阳极氧化黑工艺，满足多场景应用。

典型应用
• 显微成像          • 纳米定位
• 光学对准          • 激光领域
• 集成光学          • 光学测量
• 半导体加工