FemtoLAB飞秒激光微加工系统

FemtoLAB实验室专用激光微加工系统是科学实验室的解决方案。配备高精度线性定位平台，高性能的扫描振镜和

多功能软件SCA，FemtoLAB成为光学平台上的全套激光实验室。

特点：

♦ 高速精密微加工；

♦ 高端工业级飞秒激光器；

♦ 具有亚微米分辨率的难于加工样品的制造；

♦ 飞秒微加工模式下的很小热影响区；

♦ 纳米精度目标定位；

♦ 采用扫描振镜，实现精确的激光束引导；

♦ 激光参数的灵活变化；

♦ 用于控制所有集成硬件设备的独创软件界面；

应用：

♦  表面微纳结构；                                    ♦  激光诱导周期表面结构（LIPSS）；

♦  逐点刻写光栅-掩膜板；                        ♦  激光光刻和多光子聚合；

♦  材料内部折射率修正；                         ♦  激光+湿法刻蚀；

♦  脆性材料切割；                                    ♦  光波导的制备；

♦  飞秒剥蚀（FS-LA-ICPMS）；             ♦  钻孔；

♦  5D光储存；                                          ♦  微流体；

♦  激光焊接；                                           ♦  选择层的去除；

♦  量子芯片；                                           ♦  钙钛矿电池；

♦  硅光芯片引线键合；                             ♦  雕刻；

♦ 激光光源；                                         ♦ 激光微加工系统自动化软件SCA（该软件是激光系统的重要组成部分，不单独销售）。

♦ 样品定位系统；                                  ♦ 光束传递和扫描装置；

♦ 激光功率与偏振控制；                        ♦ 系统控制软件（可选自动对焦和机器视觉）；

♦ 光学平台；                                         ♦ 样品夹持和特殊机械件（可选样品自动化处理）；

♦ 保护外壳（完整或部分）；                 ♦ 除尘装置；